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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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膜厚檢測(cè)儀

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):PM100-SE

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

更新時(shí)間:2025-03-13 08:18:04瀏覽次數(shù):2615次

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工 快速測(cè)量 最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)
膜厚測(cè)量范圍 15nm-75μm (對(duì)Si上的SiO2樣品) 膜層數(shù)目 1-4層
膜厚測(cè)量重復(fù)性 0.1nm(對(duì)Si上100nm的SiO2樣品) 準(zhǔn)確度 2nm或0.4%(對(duì)Si上的SiO2樣品)
膜厚檢測(cè)儀
快速測(cè)量,,僅需1-2s即可完成一次測(cè)量
大范圍膜厚測(cè)量,可測(cè)量膜厚范圍從15nm-70μm
常規(guī)操作只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可運(yùn)行,,操作簡(jiǎn)便
適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng),穩(wěn)定可靠
能夠滿足膜厚的常規(guī)測(cè)量,經(jīng)濟(jì)實(shí)用

膜厚檢測(cè)儀

產(chǎn)品介紹

快速測(cè)量,,僅需1-2s即可完成一次測(cè)量
大范圍膜厚測(cè)量,可測(cè)量膜厚范圍從15nm-70μm
常規(guī)操作只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可運(yùn)行,,操作簡(jiǎn)便
適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng),,穩(wěn)定可靠
能夠滿足膜厚的常規(guī)測(cè)量,經(jīng)濟(jì)實(shí)用

產(chǎn)品參數(shù)

快速測(cè)量:最大典型12寸晶圓(即直徑300mm)
膜厚測(cè)量范圍:15nm-75μm (對(duì)Si上的SiO2樣品)
膜層數(shù)目:1-4層
膜厚測(cè)量重復(fù)性:0.1nm(對(duì)Si上100nm的SiO2樣品)
準(zhǔn)確度:2nm或0.4%(對(duì)Si上的SiO2樣品)

膜厚測(cè)試儀,,分為手持式和臺(tái)式二種,,手持式又有磁感應(yīng)鍍層測(cè)厚儀,,電渦流鍍層測(cè)厚儀,熒光X射線儀鍍層測(cè)厚儀,。手持式的磁感應(yīng)原理時(shí),,利用從測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來(lái)測(cè)定覆層厚度,。也可以測(cè)定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小,,來(lái)表示其覆層厚度。
臺(tái)式的熒光X射線膜厚測(cè)試儀,,是通過(guò)一次X射線穿透金屬元素樣品時(shí)·產(chǎn)生低能量的光子,,俗稱為二次熒光,,在通過(guò)計(jì)算二次熒光的能量來(lái)計(jì)算厚度值,。

同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

膜厚檢測(cè)儀

型號(hào):PM100-SE 參考價(jià): ¥面議
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